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Strained silicon on relaxed SiGe made by ion implantation and strain transfer
Mantl, S.FZJ* ; Holländer, B.FZJ* ; Mörschbächer, M. ; Trinkaus, H.FZJ* ; Luysberg, M.FZJ* ; Hueging, N.FZJ* ; Houben, L.FZJ* ; Carius, R.FZJ* ; Loo, R. ; Caymax, M. ; Schäfer, H.FZJ*
2004
2004206th Meeting of the Electrochemical Society
Seminar, Honolulu, HawaiiHonolulu, Hawaii, 3 Oct 20042004-10-03
Note: Record converted from VDB: 12.11.2012
Contributing Institute(s):
- Mikrostrukturforschung (IFF-IMF)
Research Program(s):
- Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik (I01)
- Kondensierte Materie (M02)
Appears in the scientific report
2004
Notes: Nachtrag