TY  - JOUR
AU  - Beyer, Wolfhard
AU  - Nuys, Maurice
AU  - Andrä, Gudrun
AU  - Bosan, Hassan Ali
AU  - Breuer, Uwe
AU  - Finger, Friedhelm
AU  - Gawlik, Annett
AU  - Haas, Stefan
AU  - Lambertz, Andreas
AU  - Nickel, Norbert
AU  - Plentz, Jonathan
TI  - Secondary Ion Mass Spectrometry Study of Hydrogenated Amorphous Silicon Layer Disintegration upon Rapid (Laser) Annealing
JO  - Physica status solidi / A
VL  - 220
IS  - 12
SN  - 1862-6300
CY  - Weinheim
PB  - Wiley-VCH
M1  - FZJ-2023-01669
SP  - pssa.202200671
PY  - 2023
LB  - PUB:(DE-HGF)16
UR  - <Go to ISI:>//WOS:000984532700001
DO  - DOI:10.1002/pssa.202200671
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/1006434
ER  -