TY - JOUR
AU - Beyer, Wolfhard
AU - Nuys, Maurice
AU - Andrä, Gudrun
AU - Bosan, Hassan Ali
AU - Breuer, Uwe
AU - Finger, Friedhelm
AU - Gawlik, Annett
AU - Haas, Stefan
AU - Lambertz, Andreas
AU - Nickel, Norbert
AU - Plentz, Jonathan
TI - Secondary Ion Mass Spectrometry Study of Hydrogenated Amorphous Silicon Layer Disintegration upon Rapid (Laser) Annealing
JO - Physica status solidi / A
VL - 220
IS - 12
SN - 1862-6300
CY - Weinheim
PB - Wiley-VCH
M1 - FZJ-2023-01669
SP - pssa.202200671
PY - 2023
LB - PUB:(DE-HGF)16
UR - <Go to ISI:>//WOS:000984532700001
DO - DOI:10.1002/pssa.202200671
UR - https://juser.fz-juelich.de/record/1006434
ER -