%0 Patent
%A Grewing, Christian
%A van Waasen, Stefan
%A Vliex, Patrick
%A Bühler, Jonas
%T Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung sehr kleiner Kapazitätsänderungen
%M FZJ-2024-06120
%@ DE 10 2022 212 172 A1
%D 2024
%F PUB:(DE-HGF)23
%9 Patent
%N DE 10 2022 212 172.4
%U https://juser.fz-juelich.de/record/1032281