TY  - PAT
AU  - Grewing, Christian
AU  - van Waasen, Stefan
AU  - Vliex, Patrick
AU  - Bühler, Jonas
TI  - Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung sehr kleiner Kapazitätsänderungen
M1  - FZJ-2024-06120
SN  - DE 10 2022 212 172 A1
PY  - 2024
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - DE 10 2022 212 172.4
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/1032281
ER  -