TY  - PAT
AU  - Fischer, Benedikt
AU  - Nuys, Maurice
AU  - Schaaf, Michael
TI  - Dünnschichten aus Silizium hergestellt durch CVD mittels Flüssigsilanen mit einstellbarem Kohlenstoffgehalt
M1  - FZJ-2025-03069
SN  - DE102023118799A1
PY  - 2025
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - DE 102023118799
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/1044180
ER  -