TY  - JOUR
AU  - Wolf, Martin
AU  - Roitsch, Stefan
AU  - Mayer, Joachim
AU  - Nijmeijer, A.
AU  - Bouwmeester, H.J.M.
TI  - Fabrication of ultrathin films of Ta2O5 by a sol–gel method
JO  - Thin solid films
VL  - 527
SN  - 0040-6090
CY  - Amsterdam [u.a.]
PB  - Elsevier
M1  - FZJ-2013-00432
SP  - 354 - 357
PY  - 2013
LB  - PUB:(DE-HGF)16
UR  - <Go to ISI:>//WOS:000314037200062
DO  - DOI:10.1016/j.tsf.2012.12.054
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/128743
ER  -