TY  - BOOK
AU  - Smit, Herman G.J.
AU  - Kivi, R.
AU  - Voemel, H.
AU  - Paukkunen, A.
TI  - Thin film capacitive sensors
CY  - New York, NY
PB  - Springer
M1  - FZJ-2013-00934
SN  - 9781461439080
SP  - Online-Ressource
PY  - 2013
LB  - PUB:(DE-HGF)3
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/130566
ER  -