TY  - JOUR
AU  - Lehmann, J.
AU  - Hübner, R.
AU  - Borany, J.V.
AU  - Skorupa, W.
AU  - Mikolajick, T.
AU  - Schäfer, A.
AU  - Schubert, Jürgen
AU  - Mantl, S.
TI  - Millisecond flash lamp annealing for LaLuO3 and LaScO3 high-k dielectrics
JO  - Microelectronic engineering
VL  - 109
SN  - 0167-9317
CY  - [S.l.] @
PB  - Elsevier
M1  - FZJ-2013-02688
SP  - 381 - 384
PY  - 2013
LB  - PUB:(DE-HGF)16
UR  - <Go to ISI:>//WOS:000321229200096
DO  - DOI:10.1016/j.mee.2013.04.021
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/134555
ER  -