Dynamic deposition of microcrystalline silicon

Zimmermann, Thomas; Merdzhanova, Tsvetelina; Gordijn, Aad; Meier, Matthias

doi:10.1117/2.1201305.004856

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Hauptseite > Publikationsdatenbank > Dynamic deposition of microcrystalline silicon > RIS

TY  - JOUR
AU  - Zimmermann, Thomas
AU  - Merdzhanova, Tsvetelina
AU  - Meier, Matthias
AU  - Gordijn, Aad
TI  - Dynamic deposition of microcrystalline silicon
JO  - SPIE newsroom
VL  - 0
CY  - Bellingham, Wash.
M1  - FZJ-2013-03348
SP  - 1-3
PY  - 2013
LB  - PUB:(DE-HGF)16
DO  - DOI:10.1117/2.1201305.004856
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/136560
ER  -

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