%0 Conference Paper
%A Huck, C.
%A Poghossian, A.
%A Bäcker, M.
%A Zander, W.
%A Schubert, J.
%A Sukoyan, L. H.
%A Begoyan, V.
%A Buniatyan, V. V.
%A Wagner, P.
%A Schöning, M. J.
%T Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion
%I AMA Service GmbH, P.O. Box 2352, 31506 Wunstorf, Germany
%M FZJ-2014-00640
%P 368-372
%D 2013
%X Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden.
%B 11. Dresdner Sensor-Symposium
%C 9 Dec 2013 - 11 Dec 2013, Dresden (Germany)
Y2 9 Dec 2013 - 11 Dec 2013
M2 Dresden, Germany
%F PUB:(DE-HGF)8
%9 Contribution to a conference proceedings
%R 10.5162/11dss2013/F15
%U https://juser.fz-juelich.de/record/150591