TY  - CONF
AU  - Huck, C.
AU  - Poghossian, A.
AU  - Bäcker, M.
AU  - Zander, W.
AU  - Schubert, J.
AU  - Sukoyan, L. H.
AU  - Begoyan, V.
AU  - Buniatyan, V. V.
AU  - Wagner, P.
AU  - Schöning, M. J.
TI  - Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion
PB  - AMA Service GmbH, P.O. Box 2352, 31506 Wunstorf, Germany
M1  - FZJ-2014-00640
SP  - 368-372
PY  - 2013
AB  - Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden.
T2  - 11. Dresdner Sensor-Symposium
CY  - 9 Dec 2013 - 11 Dec 2013, Dresden (Germany)
Y2  - 9 Dec 2013 - 11 Dec 2013
M2  - Dresden, Germany
LB  - PUB:(DE-HGF)8
DO  - DOI:10.5162/11dss2013/F15
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/150591
ER  -