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@INPROCEEDINGS{Huck:150591,
      author       = {Huck, C. and Poghossian, A. and Bäcker, M. and Zander, W.
                      and Schubert, J. and Sukoyan, L. H. and Begoyan, V. and
                      Buniatyan, V. V. and Wagner, P. and Schöning, M. J.},
      title        = {{C}hemische {S}ensoren mit {B}ariumstrontiumtitanat als
                      funktionale {S}chicht zur {M}ultiparameterdetektion},
      publisher    = {AMA Service GmbH, P.O. Box 2352, 31506 Wunstorf, Germany},
      reportid     = {FZJ-2014-00640},
      pages        = {368-372},
      year         = {2013},
      abstract     = {Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften
                      und die große Vielfalt in der stöchiometrischen
                      Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise
                      Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der
                      Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten
                      geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als
                      funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von
                      pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion
                      von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung
                      wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht
                      als alternativem Gatematerial, zur Messung der
                      Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen
                      Makromolekülen wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE)
                      mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale
                      Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels
                      gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen
                      Sensorstrukturen abgeschieden.},
      month         = {Dec},
      date          = {2013-12-09},
      organization  = {11. Dresdner Sensor-Symposium, Dresden
                       (Germany), 9 Dec 2013 - 11 Dec 2013},
      cin          = {PGI-8 / JARA-FIT / ICS-8 / PGI-9},
      cid          = {I:(DE-Juel1)PGI-8-20110106 / $I:(DE-82)080009_20140620$ /
                      I:(DE-Juel1)ICS-8-20110106 / I:(DE-Juel1)PGI-9-20110106},
      pnm          = {423 - Sensorics and bioinspired systems (POF2-423) / 453 -
                      Physics of the Cell (POF2-453)},
      pid          = {G:(DE-HGF)POF2-423 / G:(DE-HGF)POF2-453},
      typ          = {PUB:(DE-HGF)8},
      doi          = {10.5162/11dss2013/F15},
      url          = {https://juser.fz-juelich.de/record/150591},
}