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| Contribution to a conference proceedings | FZJ-2014-00640 |
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2013
AMA Service GmbH, P.O. Box 2352, 31506 Wunstorf, Germany
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Please use a persistent id in citations: doi:10.5162/11dss2013/F15
Abstract: Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden.
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