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@PHDTHESIS{Warzecha:151920,
      author       = {Warzecha, Marek},
      title        = {{Z}inkoxid: {E}influss von {D}otierung und {L}egierungen
                      auf elektro-optische {E}igenschaften, auf das Ätzverhalten
                      und auf die {T}empernachbehandlung},
      volume       = {207},
      school       = {RWTH Aachen},
      type         = {Dr.},
      address      = {Jülich},
      publisher    = {Forschungszentrum Jülich GmbH Zentralbibliothek, Verlag},
      reportid     = {FZJ-2014-01764},
      isbn         = {978-3-89336-938-6},
      series       = {Schriften des Forschungszentrums Jülich Reihe Energie $\&$
                      Umwelt / Energy $\&$ Environment},
      pages        = {170 S.},
      year         = {2014},
      note         = {RWTH Aachen, Diss., 2014},
      abstract     = {Die deutsche Energieversorgung steht dieser Tage in einer
                      Umbruchphase.Angesichts der weltweit immer knapper werdenden
                      fossilen Energieträgern wieÖl, Kohlekraft und Kernkraft
                      und dem damit verbundenen stetigen Kostenanstieg,ist die
                      Suche nach erneuerbaren Energiequellen eine Herausforderung
                      fürunsere Generation. Mit der sogenannten Energiewende hat
                      sich die deutscheBundesregierung zum Ziel gesetzt, der
                      fossilen Energieversorgung abzuwendenund verstärkt auf
                      erneuerbare Energien wie Windkraft, Wasserkraft, Biomasseund
                      Sonnenenergie zu setzen.Durch die Einführung des
                      Stromeinspeisungsgesetzes, welches im Jahre 1991 inKraft
                      getreten ist, wurde die Förderung für erneuerbare Energien
                      in Deutschlanderstmals politisch gesteuert. Hierdurch wurde
                      dem Betreiber einer Erneuerbare-Energien-Anlage die Abnahme
                      seines Stromes gesetzlich garantiert [1]. DieseFörderung
                      wird seitdem kontinuierlich und seit 2009 verstärkt
                      zurückgefahren,um die neuen Energieträger dem freien Markt
                      zuzuführen.Im Zuge dieses Gesetzes konnte der Anteil der
                      regenerativen Energien amBruttostromverbrauch auf $25,1\%$
                      im Jahre 2012 gesteigert werden, wovon diePhotovoltaik einen
                      Anteil von $5,3\%$ trägt [2]. Das Ziel der Bundesregierung
                      ist,den Anteil erneuerbarer Energien am Bruttostromverbrauch
                      auf bis zu $35\%$ imJahre 2020 zu erhöhen [3].Die hiesige
                      Solarzellenindustrie steht im globalen Wettbewerb um
                      kostenezienteHerstellung von hochwertigen Solarmodulen,
                      weshalb geringe Produktionskosteneine Herausforderung für
                      die künftige Solarzellenentwicklung sind.
                      Gleichzeitigmüssen die künftigen Solarzellen die
                      Sonnenstrahlung möglichst ezient inelektrische Energie
                      umwandeln können.Das Forschungszentrum Jülich fokussiert
                      sich auf die Entwicklung und Charakterisierungvon
                      Dünnschichtsolarzellen vorwiegend aus amorphem
                      undmikrokristallinem Silizium (Si). Der Vorteil dieser
                      Technologie im Vergleich zukristallinem Si sind die geringen
                      Produktionskosten. Auÿerdem ist die Herstellungdieser
                      Solarzellen weniger energieaufwendig und ressourcenschonend,
                      da eingeringerer Materialverbrauch erforderlich ist. Eine
                      groÿächige Deposition dieserDünnschichtsolarzellen ist
                      durch die Plasma-unterstützte chemische
                      Gasphasenabscheidung(engl.: Plasma Enhanced Chemical Vapor
                      Deposition) (PECVD)möglich.Die
                      Silizium-Dünnschichtsolarzelle besteht aus unterschiedlich
                      dotiertenHalbleiterschichten, die eine Umwandlung des
                      Lichtes in elektrische Energieermöglichen, sowie aus
                      Kontaktschichten, welche den elektrischen Strom ableiten.
                      [...]},
      keywords     = {Dissertation (GND)},
      cin          = {IEK-5},
      cid          = {I:(DE-Juel1)IEK-5-20101013},
      pnm          = {111 - Thin Film Photovoltaics (POF2-111)},
      pid          = {G:(DE-HGF)POF2-111},
      typ          = {PUB:(DE-HGF)3 / PUB:(DE-HGF)11},
      url          = {https://juser.fz-juelich.de/record/151920},
}