%0 Thesis
%A Zheng, Ying
%T Structuring and Depth Profiling with an Argon Ion Gun
%I FH Aachen, Campus Jülich
%V Bachelorarbeit
%C Jülich
%M FZJ-2014-05226
%P 49 p.
%D 2014
%Z Bachelorarbeit, FH Aachen, Campus Jülich, 2014
%K Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND)
%F PUB:(DE-HGF)2
%9 Bachelor Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/156505