TY  - THES
AU  - Zheng, Ying
TI  - Structuring and Depth Profiling with an Argon Ion Gun
PB  - FH Aachen, Campus Jülich
VL  - Bachelorarbeit
CY  - Jülich
M1  - FZJ-2014-05226
SP  - 49 p.
PY  - 2014
N1  - Bachelorarbeit, FH Aachen, Campus Jülich, 2014
KW  - Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND)
LB  - PUB:(DE-HGF)2
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/156505
ER  -