TY  - CONF
AU  - Knoll, L.
AU  - Zhao, Q.T.
AU  - Luptak, R.
AU  - Trellenkamp, S.
AU  - Bourdelle, K.K.
AU  - Mantl, S.
TI  - 20nm gate length Schottky MOSFETs with ultra thin NiSi/epitaxial NiSi2 source/drain
M1  - PreJuSER-15884
PY  - 2011
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
LB  - PUB:(DE-HGF)8 ; PUB:(DE-HGF)7
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/15884
ER  -