TY  - CONF
AU  - Nichau, A.
AU  - Durgun Özben, E.
AU  - Schnee, M.
AU  - Lopes, J.M.J.
AU  - Besmehn, A.
AU  - Luysberg, M.
AU  - Knoll, L.
AU  - Habicht, S.
AU  - Mussmann, V.
AU  - Luptak, R.
AU  - Lenk, St.
AU  - Rubio-Zuazo, J.
AU  - Castro, G.R.
AU  - Buca, D.
AU  - Zhao, Q.T.
AU  - Schubert, J.
AU  - Mantl, S.
TI  - Lanthanum Lutetium oxide integration in a gate-first process on SOI MOSFETs
M1  - PreJuSER-15895
PY  - 2011
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 14 Mar 2011
M2  - Cork, Ireland, 
LB  - PUB:(DE-HGF)6
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/15895
ER  -