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%0 Conference Paper %A Uhlenbruck, Sven %T Herstellungsverfahren II - PVD/CVD %M FZJ-2015-03046 %D 2015 %B Fortbildungsseminar der deutschen Gesellschaft für Materialkunde (DGM) "Ionenleitende Keramiken für die Energie- und Verfahrenstechnik" %C 28 Apr 2015 - 30 Apr 2015, Jülich (Germany) Y2 28 Apr 2015 - 30 Apr 2015 M2 Jülich, Germany %F PUB:(DE-HGF)31 %9 Talk (non-conference) %U https://juser.fz-juelich.de/record/190087