%0 Conference Paper
%A Haab, A.
%A Mikulics, M.
%A Stoica, T.
%A Moers, J.
%A Sutter, E.
%A von der Ahe, M.
%A Winden, A.
%A Hardtdegen, H.
%A Grützmacher, D.
%T MOVPE von GaN zur Herstellung von Nanostrukturen durch reaktives Ionenätzen
%M PreJuSER-22899
%D 2011
%Z Record converted from VDB: 12.11.2012
%< DGKK
Y2 8 Dec 2011
M2 Stuttgart, 
%F PUB:(DE-HGF)31
%9 Talk (non conference)
%U https://juser.fz-juelich.de/record/22899