TY  - CONF
AU  - Haab, A.
AU  - Mikulics, M.
AU  - Stoica, T.
AU  - Moers, J.
AU  - Sutter, E.
AU  - von der Ahe, M.
AU  - Winden, A.
AU  - Hardtdegen, H.
AU  - Grützmacher, D.
TI  - MOVPE von GaN zur Herstellung von Nanostrukturen durch reaktives Ionenätzen
M1  - PreJuSER-22899
PY  - 2011
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 8 Dec 2011
M2  - Stuttgart, 
LB  - PUB:(DE-HGF)31
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/22899
ER  -