TY  - CONF
AU  - Schäfer, A.
AU  - Tiedemann, A.
AU  - Nichau, A.
AU  - Lupták, R.
AU  - Mußmann, V.
AU  - Schubert, J.
AU  - Mantl, S.
TI  - Using ALD and AVD-techniques for scaled gate stacks
M1  - PreJuSER-23343
PY  - 2012
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 10 Jun 2012
M2  - Bad Honnef, 
LB  - PUB:(DE-HGF)24
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/23343
ER  -