%0 Conference Paper
%A Kappertz, Mark
%A Schulze-Küppers, Falk
%A Baumann, Stefan
%A Sebold, Doris
%A Guillon, Olivier
%T Chemisches Ätzen von perowskitischen Dünnschichtmembranen
%V 47
%M FZJ-2015-06357
%@ 978-3-88355-410-5
%P 289-294
%D 2015
%< Sonderbände der praktischen Metallographie
%B 49. Metallographie-Tagung
%C 16 Sep 2015 - 18 Sep 2015, Dresden (Germany)
Y2 16 Sep 2015 - 18 Sep 2015
M2 Dresden, Germany
%F PUB:(DE-HGF)8
%9 Contribution to a conference proceedings
%U https://juser.fz-juelich.de/record/256425