TY - CONF AU - Kappertz, Mark AU - Schulze-Küppers, Falk AU - Baumann, Stefan AU - Sebold, Doris AU - Guillon, Olivier TI - Chemisches Ätzen von perowskitischen Dünnschichtmembranen VL - 47 M1 - FZJ-2015-06357 SN - 978-3-88355-410-5 SP - 289-294 PY - 2015 T2 - 49. Metallographie-Tagung CY - 16 Sep 2015 - 18 Sep 2015, Dresden (Germany) Y2 - 16 Sep 2015 - 18 Sep 2015 M2 - Dresden, Germany LB - PUB:(DE-HGF)8 UR - https://juser.fz-juelich.de/record/256425 ER -