%0 Thesis
%A Heffels, Daniel
%T Wachstum von Tantalnitridschichten per Metall-MBE
%I FH Aachen
%V BA
%M FZJ-2015-07583
%P 56 p.
%D 2015
%Z FH Aachen, Bachelorarbeit, 2015
%F PUB:(DE-HGF)2
%9 Bachelor Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/279701