TY  - THES
AU  - Heffels, Daniel
TI  - Wachstum von Tantalnitridschichten per Metall-MBE
PB  - FH Aachen
VL  - BA
M1  - FZJ-2015-07583
SP  - 56 p.
PY  - 2015
N1  - FH Aachen, Bachelorarbeit, 2015
LB  - PUB:(DE-HGF)2
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/279701
ER  -