%0 Thesis
%A Spiegelberg, Richard
%T Entwicklung einer leistungsfähigen Detektions-Elektronik für dieMultispitzen-Rastersondenmikroskopie zur Fehleranalyse an integrierten Schaltungen
%I RWTH Aachen
%V Dr.
%M FZJ-2016-00450
%P 180
%D 2015
%Z RWTH Aachen, Diss., 2015
%F PUB:(DE-HGF)11
%9 Dissertation / PhD Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/280693