TY  - THES
AU  - Spiegelberg, Richard
TI  - Entwicklung einer leistungsfähigen Detektions-Elektronik für dieMultispitzen-Rastersondenmikroskopie zur Fehleranalyse an integrierten Schaltungen
PB  - RWTH Aachen
VL  - Dr.
M1  - FZJ-2016-00450
SP  - 180
PY  - 2015
N1  - RWTH Aachen, Diss., 2015
LB  - PUB:(DE-HGF)11
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/280693
ER  -