TY  - JOUR
AU  - Fitsilis, F.
AU  - Regnery, S.
AU  - Ehrhart, P.
AU  - Waser, R.
AU  - Schienle, F.
AU  - Schumacher, M.
AU  - Dauelsberg, M.
AU  - Strzyzewski, P.
AU  - Juergensen, H.
TI  - BST thin films grown in a multi-wafer MOCVD reactor
JO  - Journal of the European Ceramic Society
VL  - 21
SN  - 0955-2219
CY  - Amsterdam [u.a.]
PB  - Elsevier Science
M1  - PreJuSER-29437
SP  - 1547 - 1551
PY  - 2001
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
LB  - PUB:(DE-HGF)16
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/29437
ER  -