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000044173 520__ $$aIn Deutschland hat sich die Nutzung der erneuerbaren Energien in den letzten Jahren erfreulich ausgeweitet. Insbesondere die Photovoltaik hat in der Anwendung große Fortschritte gemacht. Forschung und Entwicklung auf diesem Gebiet sind noch zu intensivieren, um die Kosten der Photovoltaik zu senken. Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von amorphem und mikrokristallinem Silizium zeigen vielversprechende Ansätze zur Kostenreduzierung [1, 2, 3, 4]. So konnte in der Vergangenheit der Wirkungsgrad deutlich gesteigert werden. Eine weitere Verbesserung der Solarzellen ist durch eine optimierte Anpassung der Absorptionseigenschaften an das Sonnenspektrum möglich. Um das zu erreichen, ist es notwendig, dass die Absorption des Sonnenlichts in der Solarzelle zunimmt. Streueffekte bewirken eine Verlängerung des Lichtwegs durch Vielfachreflexion im aktiven Bereich der Solarzelle und verbessern so die Absorption. Nur durch ein detailliertes Verständnis der opto-elektrischen Eigenschaften können die Solarzellenparameter verbessert werden. Zielsetzung dieser Arbeit ist die Vertiefung des Verständnisses der Lichtstreuung und Lichteinkopplung durch strukturierte raue Oberflächen im submikro Bereich und die Übertragung der Ergebnisse in den Bereich der Solarzellentechnologie. Diese Aufgabe wurde durch die Untersuchung der Oberflächengestaltung des TCOs (Transparent Conductive Oxides), welche statistisch raue oder auch periodische Strukturen besitzt, angegangen. Ein wichtiges Element für Dünnschichtsolarzellen ist die TCO-Schicht, wie es z.B. das Zinkoxid (ZnO) darstellt. Dieses Material wird am FZ-Jülich aufgrund seiner Eigenschaften – gute Leitfähigkeit bei sehr guter Transmission – als Frontkontakt einer Solarzelle eingesetzt. ZnO-Schichten sind sowohl erfolgreich in Dünnschichtsolarzellen als auch zur Erzielung “schwarzer“ Solarzellen auf der Basis von multikristallinem Silizium [5]. Inhalt dieser Arbeit ist die Untersuchung des Einflusses der Oberflächenstrukturierung der transparenten Kontaktschichten auf die optischen Eigenschaften der Dünnschichtsolarzellen auf der Basis von amorphem (a-Si:H) und mikrokristallinem (μc-Si:H) Silizium. Die Arbeit gliedert sich wie folgt: $\bullet$ Kapitel 2 beschreibt kurz die physikalischen Grundlagen. $\bullet$ In Kapitel 3 werden die experimentellen Methoden zur Charakterisierung der TCO-Substrate und der Solarzelleneigenschaften sowie die Realisierung von periodisch strukturiertem TCO vorgestellt. [...]
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