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@PHDTHESIS{Bunte:44174,
      author       = {Bunte, Eerke},
      title        = {{I}ntegrierter {P}hotodetektor zur {L}ängenmessung},
      volume       = {40},
      school       = {Technische Universität Braunschweig},
      type         = {Dr. (Univ.)},
      address      = {Jülich},
      publisher    = {Forschungszentrum Jülich GmbH Zentralbibliothek, Verlag},
      reportid     = {PreJuSER-44174},
      series       = {Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe
                      Energietechnik / energy technology},
      pages        = {XI, 110 S.},
      year         = {2004},
      note         = {Record converted from VDB: 12.11.2012; Technische
                      Universität Braunschweig, Diss., 2004},
      abstract     = {Über die Abtastung des Intensitätsprofils einer optischen
                      stehenden Welle, welche zwischen einem HeNe-Laser mit der
                      Wellenlänge $\lambda$ = 633 nm und einem Planspiegel
                      erzeugt wird, lässt sich ein neuartiges System für
                      Längenmessungen im nm-Bereich realisieren. Gegenüber der
                      herkömmlichen Lösung, dem Michelson-Interferometer,
                      besticht der neue Aufbau durch seine geringe Anzahl
                      optischer Komponenten und die leichte optische
                      Justierbarkeit. Das Intensitätsprofil einer stehenden Welle
                      ist durch das Auftreten von Intensitätsminima und - maxima
                      mit einer Periode von $\lambda$/2 gekennzeichnet. Zwei mit
                      fester Phasenbeziehung in die stehende Welle gebrachte
                      Detektoren, welche einen zur Intensität an ihrem Ort
                      proportionalen Photostrom liefern, ermöglichen
                      Längenmessungen nach dem Inkrementzählverfahren. Im Rahmen
                      dieser Arbeit wurden transparente Detektoren auf
                      Glassubstraten entwickelt, welche die Funktionalität dieser
                      Methode demonstrieren. Es handelt sich dabei um dünne
                      pin-Photodioden aus amorphem Silizium, welche mittels
                      transparenter Zinkoxid-Schichten kontaktiert werden. Für
                      die Präparation standen mit der plasmaunterstützten
                      Gasphasenabscheidung für das amorphe Silizium und dem
                      Sputter-Verfahren für das Zinkoxid zwei typische
                      Dünnschichttechnologien zur Verfügung. Mittels
                      Photolithographie und verschiedenen Ätzverfahren wurden die
                      Dioden aus dem großflächigen Dünnschichtsystem (10 x 10
                      cm$^{2}$) strukturiert. Die Verhinderung von Kurzschlüssen
                      in den extrem dünnen (<90 nm) Siliziumschichten bei einer
                      Absorberschichtdicke von $\approx$ 40 nm stellte eine
                      besondere Herausforderung dar. Zunächst wurden einzelne
                      Photodioden mit hoher Transmission (>83\%) und niedrigem,
                      aber ausreichendem Quantenwirkungsgrad ($\approx$ 1\%) bei
                      der Wellenlänge $\lambda$ realisiert. Mit zwei dieser
                      Bauelemente auf der optischen Achse konnte eine praktische
                      Umsetzung des vorgeschlagenen Messverfahrens demonstriert
                      werden. Als herausragendes Ergebnis wurde ein integrierter,
                      phasenselektiver, transparenter Detektor (PSTD) entwickelt,
                      welcher die zwei Photodioden in einem Bauelement vereint.
                      Der PSTD weist eine hohe Transmission bei $\lambda$\ auf
                      (70\%) und ermöglicht ein im mechanischen Aufbau und in der
                      optischen Justierung extrem einfaches Verfahren für
                      Längenmessungen im nm-Bereich. Der kleinste erreichte
                      Messfehler beträgt unter Laborbedingungen T15 nm, was das
                      hohe Potenzial dieser Messmethode unterstreicht. Die
                      Genauigkeit der Messungen wird beim jetzigen Stand der Dinge
                      durch technologisch bedingte Abweichungen der Schichtdicken
                      limitiert.},
      cin          = {IPV},
      cid          = {I:(DE-Juel1)VDB46},
      pnm          = {Photovoltaik},
      pid          = {G:(DE-Juel1)FUEK247},
      typ          = {PUB:(DE-HGF)11},
      url          = {https://juser.fz-juelich.de/record/44174},
}