TY  - CONF
AU  - Damm, T.
TI  - Fortschritte Ionenstrahl-Sputteranlage
M1  - PreJuSER-5710
PY  - 2002
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 29 May 2002
M2  - Bielefeld, 
LB  - PUB:(DE-HGF)31
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/5710
ER  -