TY  - GEN
AU  - Schelten, J.
TI  - Lithographie und Sensorik
M1  - PreJuSER-58323
PY  - 2000
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
LB  - PUB:(DE-HGF)17
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/58323
ER  -