TY  - CONF
AU  - Gordan, O. D.
AU  - Persson, B. N. J.
AU  - Cesa, C. M.
AU  - Mayer, D.
AU  - Hoffmann, B.
AU  - Dieluweit, S.
AU  - Merkel, R.
TI  - Micropattern Fidelity Iinfluenced by Surface Ttension
M1  - PreJuSER-58921
PY  - 2007
N1  - Record converted from VDB: 12.11.2012
Y2  - 8 Nov 2007
M2  - Bonn, 
LB  - PUB:(DE-HGF)31
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/58921
ER  -