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Hauptseite > Publikationsdatenbank > Thin Films of ZrO2 for High-k Applications Employing Engineered Alkoxide- and Amide-Based MOCVD Precursors > Reviews
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Thin Films of ZrO2 for High-k Applications Employing Engineered Alkoxide- and Amide-Based MOCVD Precursors - PreJuSER-59108
 
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