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%0 Thesis %A Höffler, Cecilia %T Herstellung und Charakterisierung von Silizium-Nano-Ribbon-Feldeffekttransistoren %I RWTH Aachen %V MS %M FZJ-2016-05118 %P 84 p. %D 2016 %Z RWTH Aachen, Masterarbeit, 2016 %F PUB:(DE-HGF)19 %9 Master Thesis %U https://juser.fz-juelich.de/record/819454