TY  - CHAP
AU  - Hoffmann-Eifert, Susanne
TI  - Chemical Vapour Deposition Techniques
CY  - Jülich
PB  - Forschungszentrum
M1  - FZJ-2017-00692
SN  - 978-3-95806-091-3
SP  - 339
PY  - 2016
LB  - PUB:(DE-HGF)7
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/826467
ER  -