TY  - CHAP
AU  - Dittmann, Regina
TI  - Physical Deposition Techniques
CY  - Jülich
PB  - Forschungszentrum Jülich
M1  - FZJ-2017-00693
SN  - 978-3-95806-091-3
PY  - 2016
LB  - PUB:(DE-HGF)7
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/826468
ER  -