TY  - PAT
AU  - Poppe, Ulrich
AU  - Dunin-Borkowski, Rafal
AU  - Thust, Andreas
TI  - Verfahren und Vorrichtungen zur Modulation eines Strahls elektrisch geladener Teilchen sowie Anwendungsbeispiele für die praktische Anwendung solcher Vorrichtungen
M1  - FZJ-2017-01033
SN  - 102015116788
PY  - 2016
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - 102015116788
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/826816
ER  -