%0 Patent
%A Bünting, Aiko
%A Uhlenbruck, Sven
%T Verfahren zur Herstellung nanostrukturierter Schichten
%M FZJ-2018-00213
%@ WO2016198033A1
%D 2016
%F PUB:(DE-HGF)23
%9 Patent
%N PCT/DE2016/000176
%U https://juser.fz-juelich.de/record/841926