TY  - PAT
AU  - Bünting, Aiko
AU  - Uhlenbruck, Sven
TI  - Verfahren zur Herstellung nanostrukturierter Schichten
M1  - FZJ-2018-00213
SN  - WO2016198033A1
PY  - 2016
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - PCT/DE2016/000176
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/841926
ER  -