%0 Patent
%A Zhang, Yanli
%A Vassen, Robert
%A Mack, Daniel Emil
%A Mauer, Georg
%A Guillon, Olivier
%T Sensoren sowie Verfahren zur Herstellung von Sensoren
%M FZJ-2018-00216
%@ 107073651
%D 2015
%F PUB:(DE-HGF)23
%9 Patent
%N 15778194.9-1555
%U https://juser.fz-juelich.de/record/841929