TY  - PAT
AU  - Zhang, Yanli
AU  - Vassen, Robert
AU  - Mack, Daniel Emil
AU  - Mauer, Georg
AU  - Guillon, Olivier
TI  - Sensoren sowie Verfahren zur Herstellung von Sensoren
M1  - FZJ-2018-00216
SN  - 107073651
PY  - 2015
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - 15778194.9-1555
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/841929
ER  -