Optimierung der Niedrigdruckgasphasenepitaxie von Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As/GaAs mit N$_{2}$ als Trägergas

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Optimierung der Niedrigdruckgasphasenepitaxie von Al$_{x}$Ga$_{1-x}$As/GaAs mit N$_{2}$ als Trägergas - FZJ-2018-06988

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