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@TECHREPORT{Dmel:859398,
      author       = {Dömel, R.},
      title        = {{U}ntersuchung der {T}ransporteigenschaften von
                      {SNS}-{K}ontakten mit {S}r{R}u{O}$_{3}$-{B}arriere},
      volume       = {3009},
      number       = {Juel-3009},
      address      = {Jülich},
      publisher    = {Forschungszentrum Jülich GmbH Zentralbibliothek, Verlag},
      reportid     = {FZJ-2019-00257, Juel-3009},
      series       = {Berichte des Forschungszentrums Jülich},
      pages        = {114 p.},
      year         = {1994},
      abstract     = {In der vorliegenden Arbeit wird die Technologie zur
                      Herstellung von SNS-Kontakten mit SrRuO$_{3}$-Barriere und
                      die Untersuchungen der Transporteigenschaften vorgestellt.
                      Es wurde ein Prozeß zur Herstelhmg c-Achsen orientierter
                      YBCO-SrRuO$_{3}$-Multilagen entwickelt. Es konnten
                      SrRuO$_{3}$-Filme und YBCO-SrRuO$_{3}$-Multilagen guter
                      Kristallqualität mit nahezu ausscheidungsfreien
                      Oberflächen hergestellt werden. Die Problematik bei diesem
                      Herstellungsprozeß besteht darin, daß die Diffusion von
                      Sauerstoff durch die SrRuO$_{3}$-Zwischenschicht mit sehr
                      hohen Aktivierungsenergien verbunden ist und die unteren
                      YBCO-Filme in den Multilagen erst durch eine spezielle
                      Temperung bei hohen Temperaturen supraleitend werden.
                      Außerdem besteht die Gefahr einer Interdiffusion von Ru in
                      den YBCO-Film, die eine Abscheidung der SrRuO$_{3}$-Filme
                      bei niedrigen Temperaturen erforderlich macht. In
                      Zusammenarbeit mit dem Institut für Mikrostruktur-Forschung
                      erfolgte die Untersuchung der YBCO-SrRuO$_{3}$-Multilagen
                      durch Hochauflösende Transmissions-Elektronen-Mikroskopie.
                      Diese Untersuchungen haben gezeigt, daß sich atomar scharfe
                      CO-SrRuO$_{3}$-Grenzflächen ausbilden. Durch Simulation der
                      atomaren Struktur konnte gezeigt werden, daß an der
                      Grenzfläche keine Interdiffusion erfolgt und nur minimale
                      Spannungen auftreten. Die Oberfläche der YBCO-Filme
                      schließt stets mit einer BaO-Ebene, also einem Isolator ab,
                      so daß eine starke Unterdrückung des Ordnungsparameters an
                      einer (001)-Grenzfläche erfolgen muß. Andererseits zeigen
                      die Filmoberflächen eine hohe Dichte atomarer Stufen, die
                      eine Möglichkeit zur Ankopplung an die ab-Ebenen bieten. Es
                      werden verschiedene Technologien entwickelt, die eine
                      Untersuchung epitaktischer Barrieren mit ex-situ und in-situ
                      Grenzflächen ermöglichen. Dazu wurde zum einen ein Prozeß
                      entwickelt, der die Herstellung planarer Kontakte aus
                      YBCO-Normalleiter-Multilagen bis zu Kontaktflächen von
                      2$\mu$m $\cdot$ 2$\mu$m ohne T$_{c}$-Verringerung
                      ermöglicht. Desweiteren wurde ein Prozeß zur Herstellung
                      von Rampen-Kontakten mit ionengeätzten YBCO-Rampen
                      entwickelt. Die Schädigung der Rampe durch den
                      lonenätzprozeß konnte sominimiert werden, daß ohne
                      Bandare kritische Stromdichters von 1 $\cdot$
                      10$^{6}$Acm$^{2}$ bei 77K erreicht werden konnten. Mit
                      YBCO-Rampen, die durch naßchemisches Ätzen mit
                      Brom-Ethanol erzeugt wurden, konnten ohne Barriere kritische
                      Ströme der gleichen Größenordnung erreicht werden. Die
                      Eigenschaften der planaren Kontakte aus a-Achsen
                      orientierten YBCO-PrBCO-Multilagen wären durch eine hohe
                      Dichte supraleitender Kurzschlüsse geprägt, da keine
                      a-Achsenorientierten Filme ausreichend guter
                      Oberflächenqualität verfügbar waren. Deshalb wurde am
                      Beispiel der YBCO-Au-Grenzflächen untersucht, ob eine
                      Proximity-Kopplung an der Oberfläche eines c-Achsen
                      orientierten Filmes möglich ist. Es wurden planare
                      YBCO-Au-Nb-Kontakte mit c-Achsen orientierten YBCO-Filmen
                      hergestellt, die RSJ-förmige Kennlinien und gut
                      ausgeprägte Shapiro-Stufen zeigten. Durch die regelmäßige
                      Verteilung der atomaren Stufen auf den Filmoberflächen
                      konnte ein Skalieren der kritischen Ströme mit der
                      Kontaktfläche beobachtet werden. Obwohl die kritischen
                      Stromdichten 1-2 Größenordnungen [...]},
      cin          = {PRE-2000},
      cid          = {I:(DE-Juel1)PRE2000-20140101},
      pnm          = {899 - ohne Topic (POF3-899)},
      pid          = {G:(DE-HGF)POF3-899},
      typ          = {PUB:(DE-HGF)3 / PUB:(DE-HGF)29},
      url          = {https://juser.fz-juelich.de/record/859398},
}