%0 Thesis
%A Aleksa, Paulus
%T Ferroelectricity of doped HfO2 for Negative-Capacitance Transistors
%I Heinrich-Heine University Düsseldorf
%V Masterarbeit
%M FZJ-2019-01568
%P 54
%D 2018
%Z Masterarbeit, Heinrich-Heine University Düsseldorf, 2018
%F PUB:(DE-HGF)19
%9 Master Thesis
%U https://juser.fz-juelich.de/record/860916