%0 Patent
%A Vassen, Robert
%A Hathiramani, Dag
%A Stöver, Detlev
%T Verfahren zur Herstellung dünner, dichter Keramikschichten
%M FZJ-2019-01975
%@ Pt1.2197
%D 2012
%F PUB:(DE-HGF)23
%9 Patent
%N EP1789600B1
%U https://juser.fz-juelich.de/record/861517