000861517 001__ 861517
000861517 005__ 20240708132712.0
000861517 013__ $$aPt1.2197
000861517 0247_ $$2Patent$$aEP1789600B1
000861517 037__ $$aFZJ-2019-01975
000861517 1001_ $$0P:(DE-Juel1)129670$$aVassen, Robert$$b0$$eCorresponding author
000861517 245__ $$aVerfahren zur Herstellung dünner, dichter Keramikschichten
000861517 260__ $$c2012
000861517 3367_ $$2ORCID$$aPATENT
000861517 3367_ $$0PUB:(DE-HGF)23$$2PUB:(DE-HGF)$$aPatent$$bpatent$$mpatent$$s1557161713_5872
000861517 3367_ $$2DRIVER$$apatent
000861517 3367_ $$2BibTeX$$aTECHREPORT
000861517 3367_ $$015$$2EndNote$$aPatent
000861517 3367_ $$2DataCite$$aPatent
000861517 536__ $$0G:(DE-HGF)POF3-113$$a113 - Methods and Concepts for Material Development (POF3-113)$$cPOF3-113$$fPOF III$$x0
000861517 7001_ $$0P:(DE-HGF)0$$aHathiramani, Dag$$b1
000861517 7001_ $$0P:(DE-Juel1)129666$$aStöver, Detlev$$b2
000861517 909CO $$ooai:juser.fz-juelich.de:861517$$pVDB
000861517 9101_ $$0I:(DE-588b)5008462-8$$6P:(DE-Juel1)129670$$aForschungszentrum Jülich$$b0$$kFZJ
000861517 9101_ $$0I:(DE-588b)5008462-8$$6P:(DE-Juel1)129666$$aForschungszentrum Jülich$$b2$$kFZJ
000861517 9131_ $$0G:(DE-HGF)POF3-113$$1G:(DE-HGF)POF3-110$$2G:(DE-HGF)POF3-100$$3G:(DE-HGF)POF3$$4G:(DE-HGF)POF$$aDE-HGF$$bEnergie$$lEnergieeffizienz, Materialien und Ressourcen$$vMethods and Concepts for Material Development$$x0
000861517 9201_ $$0I:(DE-Juel1)IEK-1-20101013$$kIEK-1$$lWerkstoffsynthese und Herstellungsverfahren$$x0
000861517 980__ $$apatent
000861517 980__ $$aVDB
000861517 980__ $$aI:(DE-Juel1)IEK-1-20101013
000861517 980__ $$aUNRESTRICTED
000861517 981__ $$aI:(DE-Juel1)IMD-2-20101013