TY  - PAT
AU  - Vassen, Robert
AU  - Hathiramani, Dag
AU  - Stöver, Detlev
TI  - Verfahren zur Herstellung dünner, dichter Keramikschichten
M1  - FZJ-2019-01975
SN  - Pt1.2197
PY  - 2012
LB  - PUB:(DE-HGF)23
IS  - EP1789600B1
UR  - https://juser.fz-juelich.de/record/861517
ER  -