%0 Patent
%A Zhang, Yanli
%A Vassen, Robert
%A Mack, Daniel Emil
%A Mauer, Georg
%T Sensoren sowie Verfahren zur Herstellung von Sensoren
%M FZJ-2019-01979
%@ Pt1.2663
%D 2016
%F PUB:(DE-HGF)23
%9 Patent
%N DE102014011552A1
%U https://juser.fz-juelich.de/record/861521